Mit dem detektivischen Methodenarsenal der modernen digitalen Mikroskopie, gelingt bereits mit Variation von Beleuchtungs- und Betrachtungsfunktionen eine Sichtbarmachung von oberflächlichen Materialstrukturen, die mit der analogen Mikroskopie nicht möglich wäre.
Multi-Lightning erfasst automatisch unterschiedliche Beleuchtungsarten und gewährt auch nachträglich, ohne Neuaufnahme des Objekts, eine optimale Platzierung der Lichtquelle. So können gekoppelt mit HDR (high dynamic range) auch kaum sichtbare Oberflächenunregelmäßigkeiten kontrastreich herausgearbeitet werden.
Zu prüfende Materialien lassen sich großflächig dreidimensional erfassen und in der 3D-Darstellung Oberflächenunregelmäßigkeiten identifiziert werden.
Von Halbleitern bis hin zu Schraubgewinden können somit 3D-Profilmessungen (inkl. Winkelmessungen) und Rauheitsmessungen unterzogen werden.
Durch ein euzentrisches Design kann die Beurteilung von z.B. Lötstellen auf Halbleiterplatinen aus allen relevanten Winkeln erfolgen.
Werden von interessanten Strukturen oder Partikeln weitergehende Informationen benötigt, wird die Probe z.B. der REM-EDX und ggfs. der Raman Mikrospektroskopie zugeführt und weiter analysiert. Auch Restschmutzanalysen, Korngrößenanalysen und Partikelanalysen sind mit der hochauflösenden Mikroskopie zugänglich (siehe auch LINK „Partikelidentifizierung“).